V primeru polprevodniške litografije (imenovane tudi fotolitografija) so naši kamni silicij rezine in naši vzorci so napisani s svetlobno občutljivim polimerom, imenovanim fotorezist.
Kaj mislite s fotolitografijo?
fotolitografija, imenovana tudi optična litografija ali UV litografija, je postopek, ki se uporablja v mikroproizvodnji za vzorčenje delov na tankem filmu ali večini substrata (imenovane tudi rezina). … Ta metoda lahko ustvari izjemno majhne vzorce, do velikosti nekaj deset nanometrov.
Zakaj se litografija uporablja v proizvodnji polprevodnikov?
Fotolitografija je postopek, ki se uporablja v mikroproizvodnji za prenos geometrijskih vzorcev na film ali substrat. Geometrijske oblike in vzorci na polprevodniku sestavljajo kompleksne strukture, ki omogočajo dopantom, električnim lastnostim in žicam, da dokončajo vezje in izpolnijo tehnološki namen.
Kaj je namen fotolitografije?
Fotolitografija je ena najpomembnejših in najpreprostejših metod mikrofabrikacije in se uporablja za ustvarjanje podrobnih vzorcev v materialu. Pri tej metodi je mogoče obliko ali vzorec jedkati s selektivno izpostavljenostjo svetlobno občutljivega polimera ultravijolični svetlobi.
Kaj je oprema za polprevodniško litografijo?
Oprema za polprevodniško litografijo se uporablja v fazi izpostavljenosti polprevodniškega čipaproizvodni proces. … Oprema za polprevodniško litografijo uporablja projekcijsko lečo za zmanjšanje vzorca vezja, ki je napisan na originalni plošči, imenovani križni križ, in izpostavi vzorec na rezino.
