Fotolitografija je postopek, ki se uporablja v mikrofabrikaciji za prenos geometrijskih vzorcev na film ali substrat. Geometrijske oblike in vzorci na polprevodniku sestavljajo kompleksne strukture, ki omogočajo dopantom, električnim lastnostim in žicam, da dokončajo vezje in izpolnijo tehnološki namen.
Kaj je postopek fotolitografije?
Fotolitografija, imenovana tudi optična litografija ali UV litografija, je proces, ki se uporablja v mikroproizvodnji za vzorčenje delov na tankem filmu ali večini podlage (imenovano tudi rezina). … V zapletenih integriranih vezjih lahko rezina CMOS gre skozi fotolitografski cikel do 50-krat.
Kakšen je postopek mikroproizvodnje?
Mikrofabrikacija je proces izdelave miniaturnih struktur mikrometrskih meril in manjših. … Glavni koncepti in načela mikroproizvodnje so mikrolitografija, dopiranje, tanki filmi, jedkanje, lepljenje in poliranje.
Kaj je postopek litografije v polprevodnikih?
Sistem polprevodniške litografije izvaja proces, pri katerem se zelo zapleteni vzorci vezja, narisani na fotomaski iz velike steklene plošče, zmanjšajo z uporabo ultrazmogljivih leč in izpostavijo silicijevi podlozi, znani kot oblat. …
Kaj je litografija v procesu izdelave?
Litografija jeproces prenosa vzorcev geometrijskih oblik v maski na tanko plast materiala, občutljivega na sevanje (imenovan upor), ki pokriva površino polprevodniške rezine. Slika 5.1 shematično ponazarja litografski postopek, uporabljen pri izdelavi IC.
