fotolitografija se običajno uporablja za izdelavo računalniških čipov. Pri izdelavi računalniških čipov je material substrata silicijeva rezina, prekrita z uporom. Ta postopek omogoča hkratno izdelavo na stotine čipov na eni silicijevi rezini.
Kako poteka fotolitografija?
fotolitografija uporablja tri osnovne procesne korake za prenos vzorca iz maske na rezino: premaz, razvijanje, osvetlitev. Vzorec se med nadaljnjim postopkom prenese v površinsko plast rezine. V nekaterih primerih se lahko vzorec upora uporabi tudi za definiranje vzorca za deponirano tanko folijo.
Zakaj se imenuje fotolitografija?
polprevodniška litografija (fotolitografija) - Osnovni proces . Izdelava integriranega vezja (IC) zahteva različne fizikalne in kemične procese, ki se izvajajo na polprevodniškem (npr. silicijevem) substratu. … Beseda litografija izvira iz grškega lithos, kar pomeni kamni, in graphia, kar pomeni pisati.
Zakaj je litografija pomembna?
Litografija je proces prenosa vzorcev geometrijskih oblik v maski na tanek sloj materiala, občutljivega na sevanje (imenovan upor), ki pokriva površino polprevodniške rezine. Slika 5.1 shematično ponazarja litografski postopek, uporabljen pri izdelavi IC.
Katera je najbolj razširjena metoda v litografskih metodah?
Optičnolitografija je tehnika, ki temelji na fotonu, sestavljena iz projiciranja slike v fotoobčutljivo emulzijo (fotorezist), prevlečeno na substrat, kot je silicijeva rezina. To je najpogosteje uporabljen litografski postopek v veliki količini proizvodnje nanoelektronike v polprevodniški industriji.
