Pri neuravnoteženem magnetronskem razprševanju se plazma prav tako potegne navzgor v substrat, argonovi ioni pa tudi bombardirajo rastoči tanek film. … Prisotnost elektronov okoli substrata vodi do ionizacije nevtralnih plinskih atomov in prodiranja plazme v to območje.
Zakaj magnetron brizga?
Magnetronsko razprševanje uporablja zaprto magnetno polje za ujetje elektronov, povečuje učinkovitost začetnega ionizacijskega procesa in ustvarja plazmo pri nižjih tlakih, kar zmanjšuje vgradnjo plina v ozadju v rastočem izgube filma in energije v razpršenem atomu zaradi trkov plina.
Kaj je mogoče uporabiti za magnetronsko brizganje?
5 Odlaganje z magnetnim brizganjem. Magnetronsko razprševanje je visokohitrostna tehnika vakuumskega premazovanja, ki omogoča nanašanje številnih vrst materialov, vključno s kovinami in keramiko, na čim več vrst substratnih materialov z uporabo posebej oblikovanega magnetnega polje uporabljeno za tarčo za brizganje diode.
Kaj je neuravnoteženo magnetronsko razprševanje z zaprtim poljem?
Zaprto polje neuravnoteženega magnetnega razprševalnega ionskega sistema, ki ga je razvilo podjetje Teer Coatings Ltd, proizvaja optimizirane pogoje nanašanja, ki omogočajo odlaganje gostih, trdih premazov z odličnim oprijemom. Dogovor CFUBMSIP je zajet s patenti, podeljenimi Teer Coatings Ltd.
Kaj je neuravnoteženi magnetron?
Magnetroni so običajno razvrščeni kot 'uravnoteženi' ali 'neuravnoteženi'. … Če je ničelna točka blizu ciljne površine, lahko elektroni lažje pobegnejo in magnetron je neuravnotežen. Neuravnotežena zasnova lahko povzroči visoko ionsko bombardiranje tankega filma hkrati z odlaganjem.